作為集成電路產(chǎn)業(yè)核心光刻技術(shù)的源頭產(chǎn)品，光刻膠單體系列產(chǎn)品一直被國外企業(yè)壟斷，如今這項(xiàng)技術(shù)壁壘已經(jīng)不復(fù)存在。打破這一局面的是位于邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)的徐州博康信息化學(xué)品有限公司。公司目前擁有十六項(xiàng)發(fā)明專利，三十多項(xiàng)發(fā)明正在申請專利，主打產(chǎn)品為大規(guī)模集成電路關(guān)鍵材料，主要應(yīng)用于電子、航天、航海、軍事等領(lǐng)域。該公司的技術(shù)總監(jiān)、海歸博士—潘新剛，帶領(lǐng)公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)一直致力于光刻材料的研發(fā)、生產(chǎn)，并取得了驕人成績。

一、創(chuàng)新，填補(bǔ)國內(nèi)光刻行業(yè)多項(xiàng)空白

20年前，一個(gè)手持半導(dǎo)體收音機(jī)大概需要手掌大小的集成電路板，現(xiàn)如今，一個(gè)指甲蓋大小的集成電路材料上，可以容納上億個(gè)具備這樣功能的集成電路，如何在極微小的材料上做出更密集，更完備的集成電路，近年來，潘新剛和他的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，一直致力于集成電路光刻膠單體材料的研發(fā)制造。

潘新剛籍貫湖北，在國外留學(xué)期間主攻有機(jī)化學(xué)。我國集成電路年進(jìn)口達(dá)3000億美金，連續(xù)10年超過石油成為第一大進(jìn)口商品。但國外大量的技術(shù)和產(chǎn)品對中國封鎖，光刻材料禁售尤為嚴(yán)重。而這一塊正是作為整個(gè)集成電路木桶效應(yīng)的短板，整個(gè)集成電路領(lǐng)域最落后于國外的就是這一個(gè)，相當(dāng)于比國外落后10到20年。潘新剛博士也就是看到了這一點(diǎn)，毅然決定放棄在國外的優(yōu)厚條件，帶著所學(xué)的技術(shù)回到國內(nèi)。潘新剛認(rèn)真地說：“我們中國人的骨子里或許都有一種英雄情結(jié)，希望可以通過自己的努力讓國家變得更加強(qiáng)大?！?nbsp;回國后很快加入了博康技術(shù)團(tuán)隊(duì)，三年前，隨著博康公司的生產(chǎn)基地從上海向邳州轉(zhuǎn)移，潘新剛也在邳州開始了新一輪的創(chuàng)業(yè)夢想。

談到光刻，他說：“現(xiàn)在激光已經(jīng)達(dá)到一定限度了，到22納米或者28納米，這是已經(jīng)到了極限了，比起現(xiàn)在常用的激光光刻膠技術(shù)，電子束光刻膠技術(shù)在產(chǎn)品精度方面更有優(yōu)勢，市場前景也更廣闊”。潘新剛發(fā)現(xiàn)，中國的集成電路從來不缺乏好的設(shè)計(jì)創(chuàng)意。但因?yàn)闆]有高端的建設(shè)技術(shù)和建設(shè)材料，要制造高精尖的集成電路，基本上都是紙上談兵。而他恰恰瞄準(zhǔn)了這個(gè)市場的短板。如何在微世界中做出大文章，他們要做的就是找到適合微世界的那粒“沙子”——光刻材料。潘新剛說：“沒有捷徑，只能依靠創(chuàng)新，才能縮短與國外的差距”。作為公司技術(shù)總監(jiān)的潘新剛帶領(lǐng)公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)，攻克了有效去除光刻膠單體金屬離子和產(chǎn)品純化工藝的難題，使國內(nèi)光刻膠單體由248nm的研發(fā)生產(chǎn)提升到193nm研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)階段，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，博康公司成為國內(nèi)唯一一家產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中高端光刻膠單體的企業(yè)。

二、研發(fā)，提升企業(yè)技術(shù)水平

公司一直注重于科研投入，擁有國內(nèi)最先進(jìn)的研發(fā)、檢測分析設(shè)備，建有江蘇省高端光刻膠單體工程中心，江蘇省企業(yè)技術(shù)中心、江蘇省博士后創(chuàng)新實(shí)踐基地等；公司與中國科學(xué)院微電子研究所等高校院所合作建立聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室、校企聯(lián)盟等開展多層次合作；公司引入光刻領(lǐng)域“千人計(jì)劃”專家、行業(yè)內(nèi)頂尖技術(shù)人才等，組建了該領(lǐng)域最大的研發(fā)人才團(tuán)隊(duì)；公司自主研發(fā)擁有國內(nèi)該領(lǐng)域最多的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，并承擔(dān)了國家、省多個(gè)科技、產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目。這一切都為企業(yè)的發(fā)展提供了好的研發(fā)平臺(tái)和發(fā)展機(jī)遇，潘新剛帶領(lǐng)研發(fā)團(tuán)隊(duì)完成200多個(gè)項(xiàng)目的研發(fā)，負(fù)責(zé)管理從小試到中試、放大生產(chǎn)整個(gè)技術(shù)路線，根據(jù)項(xiàng)目情況協(xié)調(diào)團(tuán)隊(duì)的人員調(diào)配對公司重大決策提出專業(yè)性意見。全程參與公司的技術(shù)、工藝、新產(chǎn)品開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，公司產(chǎn)品的質(zhì)量和性能已經(jīng)達(dá)到或超過國外廠商的同類產(chǎn)品，解決了中國光刻技術(shù)發(fā)展在源頭材料方面的瓶頸，部分光刻膠單體和光刻膠材料各項(xiàng)指標(biāo)已達(dá)到全球最好。

潘新剛說：“作為國內(nèi)唯一一家光刻膠制造企業(yè)，該公司所掌握的光刻膠核心技術(shù)中金屬離子含量已達(dá)到10億分之一以下，僅憑此一項(xiàng)，該公司已站到了光刻技術(shù)的世界前沿”。

三、發(fā)展，爭做世界光刻后起之秀

潘新剛介紹說，博康將和中科院相關(guān)的幾個(gè)研究所共同在邳州建立一個(gè)研發(fā)基地，光刻材料這方面的人才，都會(huì)聚集在一起，發(fā)揮各自的優(yōu)勢，集中力量進(jìn)行一些專業(yè)課題的攻關(guān)。正是這種對創(chuàng)新孜孜以求的精神，以及對人才的引進(jìn)和培養(yǎng)，讓博康成為中國唯一一家高端光刻材料生產(chǎn)企業(yè)，成就了他們技術(shù)上的龍頭老大地位。目前，企業(yè)已經(jīng)做到了國際最先進(jìn)的水平，包括國際上的知名的電子企業(yè)都在用他們的相關(guān)產(chǎn)品。

在做好光刻膠單體的同時(shí)，潘新剛博士又在和博康的研發(fā)團(tuán)隊(duì)一起往下游產(chǎn)品—光刻膠延伸。博康是國際上最先進(jìn)的EUV光刻膠單體的發(fā)明者和生產(chǎn)者，與Intel、JSR等公司合作多年；開發(fā)應(yīng)用于軍事、航天領(lǐng)域的電子束光刻膠，目前已向中國相關(guān)單位規(guī)模供貨。目前國際上的光刻巨頭也紛紛找博康合作，博康不斷拓展海外業(yè)務(wù)，逐步推進(jìn)企業(yè)國際化戰(zhàn)略。

在邳州，一條從金鋼烷到光刻膠單體再到光刻膠，最終形成晶圓光刻、集成電路、LED、光電子器件、封裝材料等高新技術(shù)新產(chǎn)品的完整產(chǎn)業(yè)鏈正呼之欲出。